Kathodenantrieb

Kathodenantriebe haben Schnittstellen zum Vakuum und werden bei dem Sputtern bzw. bei der Sputterdeposition (Kathodenzerstäuben) in den Branchen Halbleitertechnik, Optoelektronik, Optik, Medizintechnik sowie weiteren eingesetzt.

Hohe Anforderung an Sauberkeit und Dichtheit an die zum Teil im Vakuum laufenden Bauteile. Komplexe Baugruppen mit vielen aufwendigen Montageschritten, die eine anspruchsvolle und lückenlose Dokumentation erfordern. Hohe Stückzahlen mit fristgerechter Belieferung.

Wir übernehmen die Herstellung der mechanischen Komponenten, die Beschaffung und das Handling der Einzelteile, montieren diese zur Baugruppe und führen die erforderlichen Funktions- und Dichtigkeitsprüfungen durch.

Sie als unser Kunde erhalten einbaufertige und geprüfte Baugruppen – seit vielen Jahren.

• Geprüft – Druckprüfungen, Vakuumprüfungen und Lecktests
• Individuell –  Konstruktion auf Ihre Vorgaben zugeschnitten
• Erfahrung – Vakuumdichtflächen führen wir schon seit 30 Jahren aus