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Komponenten und Baugruppen
für PVD / CVD Anlagen

Einbaufertig und tausendfach bewährt

Hersteller von PVD und CVD Beschichtungsanlagen sind ständig mit steigenden Anforderungen konfrontiert. Noch höhere Prozessgeschwindigkeiten, maximaler Wirkungsgrad des Substrateinsatzes und schlichtweg die Erwartung, dass eine Beschichtungsanlage 24/7 zuverlässig läuft. Wir kennen die harten Vorgaben der Branche genau.

Wir bereiten Komponenten und Baugruppen auf die harten Bedingungen vor, die in PVD-CVD-Anlagen herrschen. WASSERMANN entwickelt und fertigt für Sie für Sie prozesskritische Bauteile und Baugruppen – oder Systeme und Präzisionsbauteile, die Temperaturen zwischen 150 °C und 500 °C locker aushalten. Es sind hochwertige Produkte, die auch im Vakuum zuverlässig funktionieren und bis hin zu Kleinteilen wie O-Ringen prozesssichere Qualität bieten.

Wir wissen, wie essenziell wichtig höchste Gleichförmigkeit ist und warum kleinste Verschmutzungen wie Fingerabdrücke ein K.o.-Kriterium sind. Unsere Lösungen für PVD-CVD-Anlagen arbeiten so gut, dass wir für manche Kunden Source sind – zum Beispiel für einbaufertige Kathodenantriebe oder kritische Systeme.

Ihre Vorteile

bei WASSERMANN

  • Erfahrung – mehr als 1000 von uns gefertigte Kathodenantriebe sind bereits im Einsatz
  • Weltweiter Service – Wir folgen Ihren Anforderungen um die ganze Welt
  • Individuell – Wir setzen Ihre speziefischen Prozesse intern um

Mehr Informationen zu unseren Komponenten und Baugruppen

Maximale Erfahrung aus über tausend Kathodenantrieben

Wenn Halbleitertechnik, Optoelektronik oder Optik Ihr Kerngeschäft ist, werden Sie von unseren einbaufertigen Kathodenantrieben überzeugt sein.

Nutzen Sie unsere Erfahrung – wir fertigen Kathodenantriebe seit die Beschichtungstechnik Rotationskathoden verwendet. Inzwischen haben über Tausend Antriebe unsere Fertigung verlassen.

Wir haben dabei den Fortschritt stets mit vorangetrieben.

Lassen Sie uns gemeinsam die nächste Evolutionsstufe für Kathodenantriebe erreichen.

Das Optimum für prozesskritische Stellen Ihrer PVD-CVD-Anlage

Wertschöpfer und Qualitätsgarant

Produktbeispiele zur Anwendung in PVD/ CVD Anlagen

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0 mm 600 mm
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0 St. 1000 St.
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0 mm 800 mm
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0 mm 2950 mm
0 mm 7500 mm
0 mm 3900 mm
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Ihr Ansprechpartner
für PVD / CVD Anlagen

Sebastian Krüger

M.Sc.

Vertriebsingenieur


+49 (0) 6659 82-866

s.krueger@wassermann-technologie.de

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